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真空計(jì)檢漏及區(qū)分
真空計(jì)是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應(yīng)的變化進(jìn)壓的測量。
1、用電離計(jì)
真空計(jì)檢漏時,示漏物質(zhì)應(yīng)選用電離效果與殘余氣體有可能大差異者,電離效果包括電離率及電離電位兩者的綜合結(jié)果,一般用氫,氦,二氧化碳等。
2、用熱
真空計(jì)檢漏時,示漏物質(zhì)可用氫,二氧化碳,。。酒精等。一般說來,用氣體噴吹用液體覆蓋為好,因?yàn)橐后w往往會堵塞漏孔,還會污染真空系統(tǒng)或器件,熱真空計(jì)因?yàn)閼T性大,反應(yīng)慢,檢漏時巡噴速度不宜過快,并仔細(xì)觀察,認(rèn)真判別是系統(tǒng)的壓強(qiáng)波動,儀器的漂移或是真正存在漏孔。只有示漏物質(zhì)離開后,儀器指示恢復(fù)原狀的,才是真正的漏孔。熱真空計(jì)檢漏,要在它的測量范圍的真空度下,才能有效,即只適用于10-1——10-3托的真空度范圍。它哪呢過檢出小漏孔為1*10-5托升/秒。
在
真空計(jì)檢漏中,即使示漏氣體對著漏孔噴吹?;蛘呤韭┮后w涂于漏孔,實(shí)際上都不可避免要夾帶有空氣進(jìn)去,即示漏物質(zhì)并沒有徹底取代空氣。帶進(jìn)去的空氣一方面沖淡了示漏物質(zhì)的作用,另一方面還會引起不必要的讀數(shù)波動,因?yàn)榛爝M(jìn)的空氣分量時大時小。

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